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       光刻膠顯影完成后的烘烤，可以進(jìn)一步蒸發(fā)殘留的溶劑和其他可揮發(fā)有機(jī)物，使光致抗蝕劑具備更好的抗刻蝕性和抗離子注入性。

       當(dāng)堅(jiān)膜溫度過(guò)高時(shí)，會(huì)導(dǎo)致光刻膠達(dá)到Tg(玻璃化溫度)而熔化，使得光刻膠形貌發(fā)生嚴(yán)重改變，導(dǎo)致光刻失效。也有利用這一特性讓光刻膠形成特殊的形狀，以用于制造特殊微結(jié)構(gòu)與器件，例如微透鏡陣列。