產(chǎn)品特性：

化學(xué)放大型正性光刻膠,良好的分辨率0.8μm@5μm THK

工藝窗口：DOF > 2μm

光源i-Line，膠厚1-8μm。

應(yīng)用：集成電路PAD工藝或高能注入工程�？捎糜诤衲z快速曝光，提高光刻產(chǎn)能。