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專(zhuān)家：中國(guó)光刻技術(shù)體系的建立需...

SPR220系列

	產(chǎn)品特性：正性光刻膠，g/h/i-Line曝光，膠厚1-30µm,分辨率1µm,均勻性好，粘附性?xún)?yōu)良。


	旋涂曲線(xiàn)



	應(yīng)用： MEMS和凸塊工藝等厚膜應(yīng)用。耐干法/濕法腐蝕，適用于選擇性電鍍，深硅刻蝕等工藝。

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