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美國(guó)Microchem Su-8 2000系列
 

產(chǎn)品特性

基于環(huán)氧型樹脂的負(fù)性光刻膠，在近紫外光范圍內(nèi)吸收率低，具有較好的曝光均勻性

高深寬比：5:1，側(cè)壁垂直性好，光學(xué)透明，耐高溫，抗腐蝕

光源：Near UV (350-400nm) 推薦i-Line，也可用于E-beam, X-ray。

厚度范圍：0.5-650µm，型號(hào)豐富

可根據(jù)不同的厚度要求選擇型號(hào)

  
     
   
  旋涂曲線  
     
 
應(yīng)用：

高深寬比，垂直性好，耐高溫，光學(xué)透明，適用于MEMS工藝，鈍化層，微流控以及光電子器件。

  
     
   
  10 µm features,50 µm Su-8 2000 coating  
 
 
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