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AZ光刻膠常用性能表 |
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| 類型 |
型號
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厚度 |
分辨率
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后道工藝
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| AZ光刻膠 |
AZ1500系列 |
0.5-6μm
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高分辨正膠 |
高感光度，高產(chǎn)出率，高黏著性，適用于濕法腐蝕工藝，廣泛應用于全球半導體行業(yè)。 |
| AZ5214 |
1.1-2μm |
高分辨率正膠/負膠 |
高分辨率，耐刻蝕，垂直性好，可反轉(zhuǎn)成負膠，做lift-of工藝，制作電極。 |
| AZ6112 |
1-2μm |
高分辨率正膠 |
薄膠，適用于干法刻蝕 |
| AZ6130 |
2.5-3μm |
1.5μm |
薄膠，適用于干法刻蝕 |
| AZ4000系列 |
3-60μm |
高分率正膠 |
高陡直性，高粘著性，高分辨率，耐刻蝕，適用TSV工藝。 |
| AZ4500系列 |
3-10μm |
正膠 |
灰階光刻 |
| AZ4933 |
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正膠 |
噴涂的光刻膠，V型槽和溝槽，銳邊覆蓋最佳 |
| AZ9260 |
6-15μm |
高分辨率正膠 |
適用于干法刻蝕 |
| AZnLOF2000系列 |
1.8-12μm |
高分辨率負膠 |
感光性好，耐高溫，適用于lift-of工藝 |
| AZ50XT |
15-65μm |
高分辨率負膠 |
厚膠，垂直性好，適用于電鍍與干法刻蝕， |
| AZ顯影液 |
300MIF |
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薄AZ系列光刻膠的顯影液 |
| AZ400K |
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厚AZ系列光刻膠的顯影液 |
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