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      光刻膠被曝光后其光致化學(xué)反應(yīng)并未完全結(jié)束，此時(shí)需要通過(guò)一定溫度的烘烤使其反應(yīng)完全，同時(shí)通過(guò)光致反應(yīng)產(chǎn)生的活性成分在此過(guò)程中產(chǎn)生擴(kuò)增，從而通過(guò)化學(xué)方法增強(qiáng)由光強(qiáng)分布產(chǎn)生的潛像，突破光學(xué)系統(tǒng)對(duì)比度對(duì)分辨率的限制。

       也有非化學(xué)增強(qiáng)型的光刻膠需要進(jìn)行后烘再進(jìn)行顯影，其目的主要是為了增強(qiáng)光刻膠結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和讓光敏產(chǎn)物均勻。由于后烘關(guān)系到光致反應(yīng)的完成度，因此對(duì)于溫度精度和烘烤時(shí)間的控制要求較高。