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       光刻膠涂覆完成后，對(duì)其進(jìn)行一定溫度的烘烤，以去除其中大部分溶劑，使其形成具有一定硬度的薄膜。前烘一般使用熱板或者烘箱(熱板占絕大多數(shù))，將熱板升溫至前烘溫度，將襯底放置其表面并計(jì)時(shí)，到時(shí)間后取下片子(帶頂針的熱板可自動(dòng)計(jì)時(shí)并頂起襯底)。

       前烘溫度和時(shí)間對(duì)后續(xù)的工藝結(jié)果有一定的影響，以一般正膠為例，如果烘烤過度，會(huì)導(dǎo)致需要的曝光劑量加大，如烘烤不足，會(huì)讓未曝光區(qū)域更容易溶于顯影液，降低對(duì)比度。