光刻膠技術(shù)資料上給出的曝光劑量是一個(gè)參考值，以mJ/cm2為單位，并且往往是以單色光波長(zhǎng)為標(biāo)準(zhǔn)的。例如xxxx膠，曝光劑量為E0=xxxmJ/cm2@xxxnm，是指當(dāng)光源的波長(zhǎng)為xxxnm時(shí)，曝光劑量為xxxmJ/cm2。
不同的光刻機(jī)，采用不同的光源，會(huì)有不同波段的光線輸出，并具有不同的光強(qiáng)，以mW/cm2為單位。接觸式光刻機(jī)常見的光源有汞燈光源和LED光源，汞燈光源濾色后-般保留365nm（i線）、405nm（h線）、436nm（g線）波長(zhǎng)的光,
而LED光源往往是單色。在測(cè)量曝光設(shè)備光強(qiáng)時(shí)，單色光源得到的數(shù)值被認(rèn)為是準(zhǔn)確的，而多波長(zhǎng)光源，需要根據(jù)光譜能量分布來推算總光強(qiáng)值。同時(shí)也要考慮到光刻膠對(duì)不同波長(zhǎng)光線的靈敏度差異，寬譜敏感光刻膠和單色敏感光刻膠的曝光時(shí)間計(jì)算差別很大。
我們這里給出兩個(gè)近似公式：
單色敏感光刻膠
曝光時(shí)間=曝光劑量/曝光光強(qiáng)@某曝光波長(zhǎng)
寬譜敏感光刻膠
曝光時(shí)間=曝光劑量/(曝光光強(qiáng)@某曝光波長(zhǎng)*k)對(duì)于汞燈光源的光刻機(jī)來說，我們通常把k取2.5。
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