產(chǎn)品特性：

高深寬比，光學透明，垂直性好。

厚度范圍0.1-200μm，光源g/h/i-Line

應用：

微細加工的機械結構(MEMS)和其他的微型系統(tǒng)。

例如：傳感器、微流體元件、電子線圈、噴墨打印機噴嘴、多芯片模塊、制動器、液晶柔性連接臂、用于塑料的模具、用于熱壓成型的郵票以及電鍍技術。