產(chǎn)品特性:

雙層膠lif+-off工藝中底層膠，配套上層膠可選擇HTI751,S1800系列，AZ1500系列，高分辨率，可用于<0.25um Lift-off工藝，粘附性好，良好的耐熱穩(wěn)定性，易去膠，作為雙層膠的底層膠使用，適合于堿性顯影液顯影。

光源G/H/I-line，DUV，193nm，E-beam

膠厚50nm-6µm

應(yīng)用:

雙層膠lift-off工藝實(shí)現(xiàn)金屬和電介質(zhì)圖案的制作。