產(chǎn)品特性：

基于PHS的負(fù)性化學(xué)放大電子束膠，高寬比大AR=5，耐刻蝕性高。

光源E-beam

膠厚200-350

應(yīng)用：

取代SAL601的電子束負(fù)膠。耐刻蝕性能好，高寬比>5。