美國(guó)FUTURREX光刻膠常見(jiàn)客戶問(wèn)題回饋：

1．我們是LED制造商，麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。
A 據(jù)我所知，F(xiàn)uturrex 有幾款膠很合適，NR7-1500P NR7-3000P是專門為離子蝕刻
設(shè)計(jì)的，NR9-3000PY可以用于Lift-off上的應(yīng)用。

2．請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有可以替代goodpr1518，Micropure去膠液和goodpr顯影液的產(chǎn)品？
A 美國(guó)光刻膠，F(xiàn)uturrex 正膠PR1-2000A , 去膠液RR4，和顯影液RD6可以解決以上問(wèn)題。

3．你們是否有可以替代Shipley S1805的用于DVD的應(yīng)用產(chǎn)品？
A 我們建議使用Futurrex PR1-500A , 它有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：比較好的解析度，比較好的線寬控制，
反射比較少，不需要HMDS，RIE后去除容易等~

4． 求助，耐高溫的光阻是那一種？
A Futurrex, NR7 serious(負(fù)光阻)Orpr1 serious(正光阻)，再經(jīng)過(guò)HMCTS silyiation process,可以達(dá)到耐高溫200度，PSPI透明polyimide,可耐高溫250度以上。

5．厚膜光阻在鍍金應(yīng)用上，用哪一種比較合適和理想？
A Futurrex , NR4-8000P比干膜，和其他市面上的濕膜更加適合，和理想。

6．請(qǐng)教LIFT-OFF制程哪一種光阻最適合？
A 可以考慮使用Futurrex ，正型光阻PR1，負(fù)型光阻用NR1&NR7,它們都可以耐高溫180度，完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。

7．請(qǐng)問(wèn)，那位專家知道，RIE Mask,用什么光阻比較好？
A 正型光阻用PR1系列，負(fù)型光阻使用NR5，兩種都可以耐高溫180度。

8．一般厚膜制程中，哪一種光阻最合適？
A NR9-8000P有很高的深寬比（超過(guò)4：1），適合一般厚膜以及，MEMS產(chǎn)品的高需求。

9．在DEEP RIE和MASK 可以使用NRP9-8000P嗎？
A 最好不使用，因?yàn)槭褂肗R5-8000更加理想和適合。

10．我們是OLED，我們有一種制程上需要一層永久的SPACER，那種光阻最適合？
A 有一種膠很適合，美國(guó)Futurrex 生產(chǎn)的NR1-3000PY and和 NR1-6000PY,都適合在OLED制程中做永久spacers

11．請(qǐng)教~有沒(méi)有同時(shí)可以滿足RIE process 和Lift-off process的光阻，謝謝！
A 我們推薦使用Futurrex NR1-300PY來(lái)滿足以上工藝的需求。

12．Futurrex光刻膠里，有比較容易去除的負(fù)光阻嗎？
A NR9-系列很容易去除，可以滿足去膠需要。

13．我們目前用干膜做窄板，解析度不夠，希望找到好的替代光阻？
A NR9-8000因?yàn)橛泻芨叩腁R比例，最適合取代，在凸塊的應(yīng)用上也有很大的好處。
14．傳統(tǒng)的Color filter 制程，每個(gè)顏色的烘烤時(shí)間要2-3個(gè)小時(shí)，有沒(méi)有更快的方法制作Coior filter?
A 用于Silylation制程------烘烤時(shí)間只需要2分鐘，同時(shí)光阻不需要Reflow, 顏色也不會(huì)老化改變，只需要在Filter上面加熱溶解PR1-2000S光阻，Microlenses就能形成！

15．請(qǐng)問(wèn)有專門為平坦化提供材料的公司嗎？
A 美國(guó)Futurrex公司，專門生產(chǎn)應(yīng)用化學(xué)品的，可以為平坦化的材料提供PC3-6000和PC4-1000都是為平坦化用途設(shè)計(jì)，臺(tái)灣企業(yè)用的比較多。

16．我需要一種可用于鋼板印刷的方式來(lái)涂布PROTECTIVE COATING，那種最合適？？
A 推薦美國(guó)Futurrex，PC4-10000。

17．臘是用來(lái)固定芯片的，但很難清洗干凈，哪里有可以替代的產(chǎn)品介紹下，謝謝？
A 我們公司是使用Futurrex PC3-6000,可以替代的，而且去除比較容易，你可以試用下。

18．請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有100微米厚襯底為鍍鎳硅并可用與MEMS應(yīng)用的光刻膠嗎？
A NR4-8000P可以做到140微米的厚度，并在鍍鎳的襯底上不會(huì)出現(xiàn)難去膠的問(wèn)題，如果是其他非鍍鎳襯底NR9-8000P是最佳的選擇。

19．誰(shuí)有用在光波導(dǎo)圖案的光刻膠？是否可以形成角度為30度的側(cè)壁？
A 你必須實(shí)現(xiàn)通過(guò)逐步透光來(lái)實(shí)現(xiàn)掩膜圖案棱的印刷，NR4-8000P是專門為光波導(dǎo)圖案應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。

20．有沒(méi)有光刻膠PC3-6000的資料嗎？
A PC3-6000并不是光刻膠，它是用在chip on glass 上的膠粘劑。

21．是否有Wax替代品？
A PC3-6000可替代Wax做晶片和玻璃的固定，比較容易去除掉。

22．貴公司是否有粘接硅襯底和砷化鎵襯底的材料？
A 有，IC1-200就是

23．請(qǐng)問(wèn)是否有不用HMDS步驟的正性光刻膠？
A 美國(guó)Futurrex 整個(gè)系列的光刻膠都不需要HMDS步驟，都可以簡(jiǎn)化。

24．一般電話咨詢光刻膠，我們應(yīng)該向客戶咨詢哪些資料？
A 1 需要知道要涂在什么材質(zhì)上，2 還有要知道需要做的膜厚，3 還要知道光刻膠的分辨率 4還有需要正膠還是負(fù)膠，5 需要國(guó)產(chǎn)還是進(jìn)口的

25． 進(jìn)口光刻膠有哪幾種技術(shù)比較先進(jìn)？
A 美國(guó)Futurrex光刻膠 美國(guó)goodprandotherpr光刻膠 美國(guó)諾斯系統(tǒng)光刻膠 韓國(guó)東進(jìn)光刻膠

26．國(guó)內(nèi)有沒(méi)有代理進(jìn)口美國(guó)光刻膠的公司？
A 深圳德同光電材料有限公司，專業(yè)代理美國(guó)Futurrex光刻膠，在光刻膠行業(yè)里已經(jīng)有了20年的歷史，在光刻膠行業(yè)排名世界第四名。德同光電是國(guó)內(nèi)唯一代理商。

27．想找一款膜厚在120um，的光刻膠，有什么光刻膠可以做到��！
A 以前有使用過(guò)美國(guó)有款光刻膠可以達(dá)到Futurrex NR-20000P ，你試用一下，在中國(guó)深圳有個(gè)代理商，你可以在百度上搜索一下。

28．有沒(méi)有了解一款美國(guó)Futurrex NR9-250P的光刻膠，請(qǐng)教下？
A 這是一款負(fù)性光刻膠，濕法蝕刻使用的，附著力很好，耐100度的溫度，國(guó)內(nèi)也有可以代理的公司，F(xiàn)uturrex光刻膠是世界第4大的電子化學(xué)品制造商，在光刻膠的領(lǐng)域有著不錯(cuò)的聲譽(yù)，在太陽(yáng)能光伏，和LED半導(dǎo)體行業(yè)都有不錯(cuò)的市場(chǎng)占有率。

29．想找款膜厚的產(chǎn)品，進(jìn)行蝕刻，有什么好推薦？
A 厚膜應(yīng)用（thick film applications），主要是指高縱橫比（Aspect ratios）,高分辨率，高反差，有幾款產(chǎn)品向你推薦一下《NR4-8000P，NR2-20000P，NR5-8000，這些產(chǎn)品都需要用到邊膠清洗液》

30．想請(qǐng)教國(guó)產(chǎn)光刻膠不能達(dá)到膜厚要求，進(jìn)口的有沒(méi)有比較好的光刻膠��？
A 美國(guó)goodpr光刻膠，或者美國(guó)Futurrex光刻膠都可以��！goodpr是大陸比較多公司采用的，
但是Futurrex 光刻膠在國(guó)外是比較有名氣的，包括很多大型企業(yè)都有用，膜厚做的也
比較厚從18um-200um都 可以做到，看你對(duì)工藝的要求了。